CeaLution^® F7068是一种非常纯净的全氟醚橡胶材质(FFKM)，具有优异的等离子耐受性、最低的颗粒产生、广谱的化学相容性，能在各种复杂工况下保持稳定密封。优异的综合性能，使它成为大部分薄膜和干法蚀刻工艺的最优密封选择。